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光致发光是指光照射到样品上，被样品吸收，产生光激发过程。
激光二极管是当前最为常用的激光器之一，在二极管的PN结两侧电子与空穴的自发复合而发光的现象称为自发辐射。当自发辐射所产生的光子通过半导体时，一旦经过已发射的电子—空穴对附近，就能激励二者复合，产生新光子，这种光子诱使已激发的载流子复合而发出新光子现象称为受激辐射。
红外线激光器
微型激光器具有广阔的应用前景，但囿于稳定性等问题而受到限制，而他们开发的光泵浦激光器能在近红外频段下提供超稳定的定向输出，
化学激光器是一类特殊的气体激光器，即是一类利用化学反应释放的能量来实现粒子数反转的激光器。这类激光器大部分以分子跃迁方式工作，典型波长范围为近红外到中红外谱区。最主要的有氟化氢（HF）和氟化氘（DF）两种装置。
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激光光源的寿命则是超长的，理论寿命可达20000h小时，
由于激光清洗物质、过程特点和所使用的激光器波长、能量密度和清洗方式的不同，激光清洗的机理也有所差异。利用激光具有强度高、能量密度大、聚焦性强、方向性好的特点，通过透镜组合可以聚焦光束，把光束集中到一个很小的区域中。
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