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在紫外激光器设计中，紫外激光的输出功率和光束质量主要依赖于非线性晶体的好坏。自从非线性晶体问世以来，有许多紫外非线性晶体被研制出来并投入到紫外激光器的研制中，
自由电子激光器是一类不同于传统激光器的新型高功率相干辐射光源，它不需要气体、液体或固体作为工作物质， 而是将高能电子束的动能直接转换成相干辐射能，也可以认为自由电子激光器的工作物质就是自由电子。它具有高功率、高效率、波长的大范围调谐和超短脉冲的时间结构等一系列优良特性。
点状激光头
紫外皮秒激光器在高精度和最小热影响区方面有着最佳的表现。
染料激光器使用有机染料作为激光介质的激光，通常是一种液体溶液。相比气体的和固态的激光介质，染料激光器通常可以用于更广泛的波长范围内。由于有宽阔的带宽，使得它们特别适合于可调谐激光器和脉冲激光器。但由于其介质寿命短，输出功率受限，基本被钛蓝宝石等波长可调的固体激光器取代。
点状激光头
传统氙灯和蒸汽汞灯作为光源，都有寿命短的缺点。
由于激光清洗物质、过程特点和所使用的激光器波长、能量密度和清洗方式的不同，激光清洗的机理也有所差异。利用激光具有强度高、能量密度大、聚焦性强、方向性好的特点，通过透镜组合可以聚焦光束，把光束集中到一个很小的区域中。
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