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紫外光在半导体材料中的穿透深度一般在几个纳米的量级，
由于激光清洗物质、过程特点和所使用的激光器波长、能量密度和清洗方式的不同，激光清洗的机理也有所差异。利用激光具有强度高、能量密度大、聚焦性强、方向性好的特点，通过透镜组合可以聚焦光束，把光束集中到一个很小的区域中。
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激光光源以高光效，高亮度、宽色域、寿命长，低热量的特点，成为了节能环保高效光源的发展趋势。它的推出在放映机光源方面是一次革新性的突破，
气体激光器是利用气体作为增益介质的激光器，一般是对气体放电进行泵浦（与固体激光器大同小异，不再赘述）。气体种类有原子气体（氦氖激光器、惰性气体离子激光器、金属蒸汽激光器）、分子气体（氮气激光器、二氧化碳激光器）、准分子气体，还有通过化学反应提供泵浦能量的特殊气体激光器。
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激光照射到粗糙物体表面会产生不同的折射，这些折射形成无规则的亮斑或暗斑。这个现象常用于医疗成像方面。但当激光作为放映光源时，
激光二极管是当前最为常用的激光器之一，在二极管的PN结两侧电子与空穴的自发复合而发光的现象称为自发辐射。当自发辐射所产生的光子通过半导体时，一旦经过已发射的电子—空穴对附近，就能激励二者复合，产生新光子，这种光子诱使已激发的载流子复合而发出新光子现象称为受激辐射。
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